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用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計 IR-CAT 介紹

發(fā)布時間:2024-01-31 點擊量:1062

用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計 IR-CAT 介紹

IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計,配備數(shù)字溫度顯示、參數(shù)設(shè)置功能和測量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個型號,兼容多種非接觸式測溫字段。

半導(dǎo)體/硅片溫度測量

可測量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計。采用使晶圓不透明的測量波長,減少加熱器對背面的影響

其他特性

  • 一體化結(jié)構(gòu),內(nèi)置數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)置功能,可通過主機(jī)操作

  • 精度高、響應(yīng)快、可靠性高

  • 可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)

  • 提供設(shè)置顯示,用于 IR-CA 的遠(yuǎn)程監(jiān)控和遠(yuǎn)程設(shè)置。
    可通過RS-485通訊進(jìn)行設(shè)置和顯示。

  • 準(zhǔn)備數(shù)據(jù)記錄軟件

  • 可選配保護(hù)殼、水冷板等配件,以適應(yīng)安裝環(huán)境。

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規(guī)格

模型用于半導(dǎo)體/硅
格式紅外貓
檢測元件
測量波長0.6~0.96μm
測量溫度范圍400-800℃ (100)
500-1000℃ (200)
600-1200℃ (200)
準(zhǔn)確率評估200℃以下:±2℃
200℃以上:測量值的±1%
再現(xiàn)性0.5℃以內(nèi)
解決0.5℃
響應(yīng)時間0.04秒(95%)
測量直徑/測量距離可移動焦點
測量距離:0.5m 至 ∞ 測量
直徑 = 測量距離/距離系數(shù)
距離系數(shù):100、200
瞄準(zhǔn)直接取景器
輸出信號4~20mA DC,隔離輸出(無電阻500Ω以下)
通訊接口RS-485(可選)
電源24V直流
能量消耗最大10VA
外形尺寸寬150x高110x深66mm
大量的約1.3公斤
其他的數(shù)據(jù)處理軟件:IR-VXC1


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